Микроэлектроника

Содержание

Том 52, Номер 6, 2023

Дата выхода: 22.11.2023

Диагностика

Зондовая и спектральная диагностика плазмы газовой среды: BCl₃–Cl₂
Д. Б. Мурин, И. А. Чесноков, И. А. Гогулев, А. Э. Гришков

443-448

МЭМС-устройства

МЭМС-переключатель на основе кантилевера с увеличенным контактным усилием
И. А. Белозеров, И. В. Уваров

449-458

Моделирование

Моделирование вертикального баллистического квантово-барьерного полевого транзистора на основе нелегированной Al_xGa_{1 – x}As квантовой нанопроволоки
Д. В. Поздняков, А. В. Борздов, В. М. Борздов

459-468

Расчет рабочих характеристик МЭМС‑переключателя c “плавающим” электродом
М. О. Морозов, И. В. Уваров

469-480

Приборы

Электрофизические параметры p-i-n-фотодиодов, облученных γ-квантами ⁶⁰Со
Н. С. Ковальчук, С. Б. Ластовский, В. Б. Оджаев, А. Н. Петлицкий, В. С. Просолович, Д. В. Шестовский, В. Ю. Явид, Ю. Н. Янковский

481-488

Биполярный транзистор с оптической накачкой
Ю. К. Альтудов, Д. С. Гаев, А. В. Псху, С. Ш. Рехвиашвили

489-496

Прототипы приборов гетерогенной гибридной полупроводниковой электроники с встроенным биомолекулярным доменом
М. А. Баранов, Э. К. Карсеева, О. Ю. Цыбин

497-507

Проектирование интегральных умножителей напряжения по типовым КМОП-технологиям
А. С. Синюкин, Б. Г. Коноплев, А. В. Ковалев

508-517

ВНИМАНИЮ АВТОРОВ

518-520

Информация о выпуске

Микроэлектроника