Микроэлектроника

Содержание

Том 52, Номер 2, 2023

Дата выхода: 26.04.23

ДИАГНОСТИКА

Измерения на РЭМ размеров рельефных структур в технологическом процессе производства микросхем
Ю. А. Новиков, М. Н. Филиппов

Информация о статьеПолный текст (PDF)

87-95

КВАНТОВЫЕ ТЕХНОЛОГИИ

Исследование возможности оптимизации взаимодействия NV-центров и фотонов путем изменения формы микрорезонаторов
А. В. Цуканов, И. Ю. Катеев

Информация о статьеПолный текст (PDF)

96-109

ЛИТОГРАФИЯ

Сечения процессов рассеяния при электронно-лучевой литографии
А. Е. Рогожин, Ф. А. Сидоров

Информация о статьеПолный текст (PDF)

110-126

ПРИБОРЫ

Оксидные мемристоры для ReRAM: подходы, характеристики, структуры
А. Г. Исаев, О. О. Пермякова, А. Е. Рогожин

Информация о статьеПолный текст (PDF)

127-151

ТЕХНОЛОГИЯ

Параметры плазмы и кинетика реактивно-ионного травления SiO₂ и Si₃N₄ в смеси HBr/Cl₂/Ar
А. М. Ефремов, В. Б. Бетелин, K.-H. Kwon

Информация о статьеПолный текст (PDF)

152-159

Исследование оптических свойств сверхтонких пленок на основе силицида металлов
Э. А. Керимов

Информация о статьеПолный текст (PDF)

160-164

Информация о выпуске

Микроэлектроника