Микроэлектроника

Содержание

Том 51, Номер 5, 2022

ДИАГНОСТИКА

Магнитная проницаемость пленок сплава Co–Ni–Fe, полученных электрохимическим осаждением
Р. Д. Тихонов, А. А. Черемисинов, М. Р. Тихонов

Информация о статьеПолный текст (PDF)

323-332

ПЛАЗМЕННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ

Исследование термической стабильности медных контактных переходов в подложках Si/SiO₂
А. И. Воробьева, В. А. Лабунов, Е. А. Уткина, А. А. Ходин, О. А. Сычева, Т. И. Езовитова

Информация о статьеПолный текст (PDF)

333-345

Исследование теплофизических свойств полупроводникового материала SiGe
С. Ю. Шорстов, П. С. Мараховский, Д. Я. Баринов, М. Г. Размахов

Информация о статьеПолный текст (PDF)

346-352

О механизмах регулирования состава плазмы и кинетики гетерогенных процессов в смеси CF₄ + CHF₃ + Ar
А. М. Ефремов, В. Б. Бетелин, K.-H. Kwon

Информация о статьеПолный текст (PDF)

353-361

ПРИБОРЫ

Активные интегральные фильтры верхних частот
С. Ш. Рехвиашвили

Информация о статьеПолный текст (PDF)

362-368

Активный выпрямитель с малыми потерями
В. П. Бабенко, В. К. Битюков

Информация о статьеПолный текст (PDF)

369-376

Исследование эффекта самонагревания в высоковольтных КНИ транзисторах с большой областью дрейфа
С. В. Румянцев, А. С. Новоселов, Н. В. Масальский

Информация о статьеПолный текст (PDF)

377-385

Особенности работы трехэлектродного электростатического микрогенератора при наличии соударений между электродами
В. П. Драгунов, Д. И. Остертак, Р. Е. Синицкий, Е. В. Драгунова

Информация о статьеПолный текст (PDF)

386-400

Информация о выпуске

Микроэлектроника