Микроэлектроника

Содержание

Том 50, Номер 5, 2021

КВАНТОВАЯ ИНФОРМАТИКА

Разложение Шмидта и когерентность интерферирующих альтернатив
Д. В. Фастовец, Ю. И. Богданов, Н. А. Богданова, В. Ф. Лукичев

Информация о статьеПолный текст (PDF)

323-332

ПЛАЗМЕННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ

Исследование плазмостойкости электронного резиста HSQ высокого разрешения для прототипирования приборов наноэлектроники
А. В. Мяконьких, А. В. Шишлянников, А. А. Татаринцев, В. О. Кузьменко, К. В. Руденко, Е. С. Горнев

Информация о статьеПолный текст (PDF)

333-338

Особенности кинетики реактивно-ионного травления Si и SiO₂ в смеси CF₄ + O₂ в режиме малой вкладываемой мощности
А. М. Ефремов, В. Б. Бетелин, K.-H. Kwon

Информация о статьеПолный текст (PDF)

339-346

ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ

К вопросу о деградации состояний HRS и LRS мемристоров и времени хранения данных
А. В. Фадеев, К. В. Руденко

Информация о статьеПолный текст (PDF)

347-362

Компьютерное исследование влияния неоднородностей металлического контакта на резистивные переключения в гетероструктуре на основе селенида висмута
В. В. Сироткин

Информация о статьеПолный текст (PDF)

363-369

МАТЕРИАЛЫ

Тонкопленочные твердотельные литий-ионные аккумуляторы системы LiCoO₂/LiPON/Si@O@Al
А. С. Рудый, А. А. Мироненко, В. В. Наумов, И. С. Федоров, А. М. Скундин, Ю. С. Торцева

Информация о статьеПолный текст (PDF)

370-375

МОДЕЛИРОВАНИЕ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ПРОЦЕССОВ МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ

Влияние точечных дефектов на возникновение электромиграции в проводнике с примесью
Т. М. Махвиладзе, М. Е. Сарычев

Информация о статьеПолный текст (PDF)

376-383

Физико-топологическое моделирование объемной конденсаторной структуры с барьером Шоттки
С. Ш. Рехвиашвили, Д. С. Гаев, А. Н. Бойко

Информация о статьеПолный текст (PDF)

384-389

Применение интерполяции в микросхеме считывания сигналов GEM детекторов
В. В. Шумихин, Э. В. Аткин, Д. А. Азаров, П. Ю. Иванов, Д. Д. Норманов

Информация о статьеПолный текст (PDF)

390-393

Энергетические и шумовые характеристики конверторного преобразователя SEPIC/Cuck с биполярным выходом
В. П. Бабенко, В. К. Битюков

Информация о статьеПолный текст (PDF)

394-400

Информация о выпуске

Микроэлектроника