Микроэлектроника

Содержание

Том 48, Номер 2, 2019

 

ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ МИКРО- И НАНОЭЛЕКТРОНИКИ
Влияние режимов импульсного лазерного осаждения на свойства нанокрисаталлических пленок LiNbO3
З. Е. Вакулов, Ю. Н. Варзарев, Е. Ю. Гусев, А. В. Скрылев, А. Е. Панич, А. В. Мяконьких, И. Э. Клементе, К. В. Руденко, Б. Г. Коноплев, О. А. Агеев
83-89
Наноразмерное профилирование поверхности кремния методом локального анодного окисления
В. В. Полякова, И. Н. Коц, В. А. Смирнов, О. А. Агеев
90-96
Исследование режимов профилирования поверхности кремния методом фокусированных ионных пучков
И. Н. Коц, А. С. Коломийцев, С. А. Лисицын, В. В. Полякова, В. С. Климин, О. А. Агеев
97-105
Формирование диэлектрических нанослоев оксидов алюминия и кремния на полупроводниках AIIIBV
Ю. К. Ежовский
106-110
МОДЕЛИРОВАНИЕ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ПРОЦЕССОВ МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ
Влияние анизотропии поверхности ферми на электропроводность тонкой неоднородной металлической проволоки
И. А. Кузнецова, Д. Н. Романов, А. А. Юшканов
111-124
Особенности кинетики объемных и гетерогенных процессов в плазме смесей CHF3 + Ar и C4F8 + Ar
Д. Б. Мурин, А. М. Ефремов, K.-H. Kwon
125-133
ДИАГНОСТИКА МАТЕРИАЛОВ
Исследование термодинамических характеристик композитного магнитного материала на основе анодного оксида алюминия
А. И. Воробьева, Д. Л. Шиманович, О. А. Сычева, Т. И. Езовитова, Д. И. Тишкевич, А. В. Труханов
134-146
Изготовлениe и электрические характеристики ассиметричных колец из ВТСП YBCO пленок, полученных методом импульсного лазерного напыления
А. И. Ильин, А. А. Иванов, О. В. Трофимов, А. А. Фирсов, А. В. Никулов, А. В. Зотов
147-154
ПРИБОРЫ
Влияние встроенного поверхностного потенциала на ВАХ кремниевых МДП структур
Р. К. Яфаров
155-159

Информация о выпуске

  • Всего статей
    9
  • Страницы
    83-159

Микроэлектроника