Химическая физика, 2023, T. 42, № 12, стр. 18-23

Исследование взаимодействия фтористого водорода с кварцем методом измерения поверхностной проводимости

В. Я. Агроскин 1*, Б. Г. Бравый 1, Г. К. Васильев 1, В. И. Гурьев 1, С. А. Каштанов 1, Ю. А. Чернышев 1

1 Федеральный исследовательский центр проблем химической физики и медицинской химии Российской академии наук
Черноголовка, Россия

* E-mail: agroskin@mail.ru

Поступила в редакцию 18.11.2022
После доработки 19.12.2022
Принята к публикации 20.01.2023

Аннотация

Экспериментально исследовано изменение поверхностной проводимости кварца при воздействии на него газообразного фтористого водорода. Показано, что поверхностная проводимость кварца в процессе реакции изменяется более чем в 108 раз. Рассмотрены возможные гетерогенные химические процессы, определяющие наблюдаемые экспериментальные результаты.

Ключевые слова: фтористый водород, кварц, поверхностная проводимость.

Список литературы

  1. Spierings G.A.C.M. // J. Mater. Sci. 1993. V. 28. P. 6261.

  2. Montano-Miranda G. // Dis. … doct. phil. Faculty of the department of chemical and environmental engineering in the Graduate College the university of Arizona, 2006.

  3. Hyeongsik P., Cho J.H., Jung J.H. et al. // Rev. Wet Chem., Curr. Photovolt. Res. 2017. V. 5. № 3. P. 75.

  4. Fischer A., Routzahn A., George S.M. et al. // J. Vac. Sci. Technol. 2021. V. 39. № 3.

  5. Cleiments L.D., Busse J.E., Mehta J. American Society for Testing and Materials. University of Nebraska-Lincoln, 1989.

  6. Helms C.R., Deal B.E. // J. Vac. Sci. Technol. 1992. V. 10. P. 806.

  7. Агроскин А.Я., Бравый Б.Г., Васильев Г.К. и др. // Хим. физика. 2022. Т. 41. № 7. С. 1.

  8. Лидин Р.А., Молочко В.А., Андреева Л.Л. Химические свойства неорганических веществ. М.: Химия, 2000.

  9. Yoon S.Y., Choi S.-E., Lee J.S. // J. Nanomaterials. 2013. V. 2013. Article ID 510524; https://doi.org/10.1155/2013/510524

  10. Park H., Cho J.H., Jung J.H. et al. // Curr. Photovolt. Res. 2017. V. 5. № 3. P. 75; https://doi.org/10.21218/CPR.2017.5.3.075

  11. Honeywell Fluorine Products, 101 Columbia Road Morristown, NJ 07962-1053. 2014; www.hfacid.com

Дополнительные материалы отсутствуют.